静電容量式非接触変位計 NANOMETRIC SENSOR(ナノメトリックセンサー)

プローブ代表例

Model 613A-1

測定範囲(um) 100±25
プローブ電極 E(mm) Φ1.2
センサの直径S(mm) Φ5.0
プローブ外形D(mm) Φ16.0

Model 613I-1

測定範囲(um) 100±25
プローブ電極 E(mm) Φ1.7
センサの直径S(mm) 2.2
プローブ外形D(mm) Φ16.0

Model 511-1(Model 212型のみ適用)

測定範囲(um) 100±50
プローブ電極 E(mm) 0.4x1
センサの直径S(mm) Φ2.0
プローブ外形D(mm) Φ5.0

Model 514-1(Model 212型のみ適用)

測定範囲(um) 100±50
プローブ電極 E(mm) Φ1.8
センサの直径S(mm) Φ5.0
プローブ外形D(mm) Φ5.0

G:ガード電極
※用途に応じた各種形状プローブ製作可能です。

メンテナンスに関して

  • 各種プローブ先端はプローブヘッドと切り離しが可能です。
  • 修理の場合、交換が簡単にでき、コストの削減になります。