静電容量式非接触変位計 NANOMETRIC SENSOR(ナノメトリックセンサー)

応用例

ハードディスクのランアウト測定

ハードディスクのランアウト測定
ハードディスクの高速回転・高精度の回転体の振れを20kHzの高速応答、1nm(P−P)の超高速分解能で測定します。

工作機械用スピンドルモーターの測定

工作機械用スピンドルモーターの測定
工作機械用の高速スピンドル:
100,000〜200,000RPMの回転の振れを測定できます。

超音波振動子・ピエゾの振動測定

超音波振動子・ピエゾの振動測定
超音波加振加工機の振動やピエゾアクチュエーターの振動を測定できます。

ふるい機の振動測定

ふるい機の振動測定
超音波振動ふるい機の“網の中心”や“共振リング上”の振動測定ができます。
グラフ:共振リング上 グラフ:網面