静電容量式非接触変位計 NANOMETRIC SENSOR(ナノメトリックセンサー)

MODEL212-3 - 高安定度性を実現した小型3チャンネル機。極細形状プローブにより高温環境で狭い箇所での位置決めや回転体の測定に向く多チャンネル型変位計

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用途

  • 超精密ステージのX, Y, Z軸位置決め
  • サーボ制御、ピエゾ位置決め
  • 小型スピンドルモータの多点測定
  • 工作機械用スピンドルモータの測定

主な特長

  • 高温度環境で使用 100℃
  • 高安定度 0.01%F.S/℃
  • 応答周波数 2kHz
  • 高感度プローブ
  • 多チャンネル測定
  • 各種形状小型細径プローブを多数用意しております。
※分解能1nm(p-p) は 0.11nm(rms) に相当

性能

プローブや測定範囲によりそれぞれ異なります。
プローブ 514A 502-1
外形 Φ5mm(L=25mm) Φ5mm(L=113mm)
測定電極 Φ1.8mm 0.2x1mm
測定範囲 200±50μm 100±50μm
出力電圧 ±10V ±10V
感度 200mV/μm 200mV/μm
確度 ±1%F.S ±1%F.S
2kHz分解能p-p 35nm 30nm
ケーブル長 1.5m
環境条件 -30〜100℃
アンプ 3CH
応答周波数 DC〜2kHz(-3dB)
出力抵抗 約200Ω
出力表示 アナログメータ
電源 AC100V±10%, 50/60Hz 約30W
外形 約210(w)x150(H)x230(L)mm