静電容量式非接触変位計 NANOMETRIC SENSOR(ナノメトリックセンサー)

MODEL212 -ドリフトが少なく高安定度性を実現し高温環境で高精度位置決めや回転体の測定に向く変位計

印刷用ページを表示

用途

  • サーボ制御、ステージ位置決め、ピエゾ位置決め
  • 高温における回転体のランアウト(RRO,NNRO)測定
  • 工作機械用スピンドルモータの測定

主な特長

  • 高温度環境で使用 100℃
  • 高安定度 0.01%F.S/℃
  • 応答周波数 2kHz
  • フィルタ内臓(200Hz、20Hz)
  • 高分解能
  • 高感度プローブ
  • 各種形状小型細径プローブを多数用意しております。
  • 組込み用小型ユニットタイプも製作可能です。
  • オプション 応答周波数5kHz
※分解能1nm(p-p) は 0.11nm(rms) に相当

性能

プローブや測定範囲によりそれぞれ異なります。
プローブ 高安定度型 (614A-1) 高安定度型 (514-1)
外形 Φ16mm Φ5mm(L=25mm)
測定電極 Φ1.8mm Φ1.8mm
測定範囲 100±50μm 100±50μm
出力電圧 ±10V ±10V
感度 200mV/μm 200mV/μm
確度 ±0.2%F.S(23±5℃) ±1%F.S(23±5℃)
2kHz分解能p-p 15nm 15nm
200Hz 5nm 5nm
20Hz 1nm(※) 1nm(※)
ケーブル長 1.5m(トライアキシャル) 1.5m(トライアキシャル)
環境条件 23±5℃ 85%R.H以下 -30℃〜100℃ 95%R.H以下
応答周波数 DC〜2kHz(-3dB) 200Hz, 20Hz切替可能
出力抵抗 約200Ω
出力表示 アナログメータ
電源 AC100V±10%, 50/60Hz 約13W
外形 約90(w)x150(H)x282(L)mm