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- 高速、高精度で回転する回転体のランアウト（RRO, NRRO）測定
- HDD用スピンドルモータ、ポリゴン用スピンドルモータの測定
- 工作機械用スピンドルモータの測定
- 超音波振動子、ピエゾの振動測定
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- 超高分解能 1nmp-p
- 応答周波数 20kHz
- フィルタ内臓（2kHz, 200Hz）
- 高感度プローブ
- 各種形状プローブ多数用意しております
- オプション 応答周波数最高500kHz
プローブや測定範囲によりそれぞれ異なります。
| プローブ | 613A-1 | 614A-1 |
| 外形 | Φ16mm (L=91mm) | Φ16mm (L=91mm) |
| 測定電極 | Φ1.2mm | Φ1.8mm |
| 測定範囲 | 100±25μm | 200±50μm |
| 出力電圧 | ±10V | ±10V |
| 感度 | 400mV/μm | 200mV/μm |
| 確度 | ±1%F.S | ±1%F.S |
| 20kHz分解能p-p | 3nm | 8nm |
| 2kHz | 1nm(※) | 3nm |
| 200Hz | 0.5nm | 1nm(※) |
| ケーブル長 | 1.5m（トライアキシャル） | 1.5m（トライアキシャル） |
| 環境条件 | 5〜50℃ 85%R.H以下 | |
| 応答周波数 | DC〜20kHz(-3dB) 2kHz, 200Hz切替可能 | |
| 出力抵抗 | 約200Ω | |
| 出力表示 | アナログメータ | |
| 電源 | AC100V±10%, 50/60Hz 約13W | |
| 外形 | 約90(w)x150(H)x282(L)mm | |
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