静電容量式非接触変位計 NANOMETRIC SENSOR(ナノメトリックセンサー)

MODEL211 - ノイズレベルを大幅に低減した超高分解能1nm、高速応答20kHzの変位計

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用途

  • 高速、高精度で回転する回転体のランアウト(RRO, NRRO)測定
  • HDD用スピンドルモータ、ポリゴン用スピンドルモータの測定
  • 工作機械用スピンドルモータの測定
  • 超音波振動子、ピエゾの振動測定

主な特長

  • 超高分解能 1nmp-p
  • 応答周波数 20kHz
  • フィルタ内臓(2kHz, 200Hz)
  • 高感度プローブ
  • 各種形状プローブ多数用意しております
  • オプション 応答周波数最高500kHz
※分解能1nm(p-p) は 0.11nm(rms) に相当

性能

プローブや測定範囲によりそれぞれ異なります。
プローブ 613A-1 614A-1
外形 Φ16mm (L=91mm) Φ16mm (L=91mm)
測定電極 Φ1.2mm Φ1.8mm
測定範囲 100±25μm 200±50μm
出力電圧 ±10V ±10V
感度 400mV/μm 200mV/μm
確度 ±1%F.S ±1%F.S
20kHz分解能p-p 3nm 8nm
2kHz 1nm(※) 3nm
200Hz 0.5nm 1nm(※)
ケーブル長 1.5m(トライアキシャル) 1.5m(トライアキシャル)
環境条件 5〜50℃ 85%R.H以下
応答周波数 DC〜20kHz(-3dB) 2kHz, 200Hz切替可能
出力抵抗 約200Ω
出力表示 アナログメータ
電源 AC100V±10%, 50/60Hz 約13W
外形 約90(w)x150(H)x282(L)mm