静電容量式非接触変位計 NANOMETRIC SENSOR(ナノメトリックセンサー)

測定例 - 高分解能測定データ

※組合せプローブや測定範囲によりそれぞれ異なります。
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ノイズレベルFFT測定データModel211 + 613A-1 プローブ使用

ノイズレベルFFT測定データグラフ

ピエゾアクチュエータ5nmステップ測定データModel211 + 613A-1 プローブ使用

ピエゾアクチュエータ5nmステップ測定データグラフ