ナノ技研株式会社

静電容量式非接触変位計ナノメトリックセンサーは金属など物体の微小な変位や振動をプローブを接近させて 非接触で静電容量の変化として測定します。高速応答とnm(10-9m)の高分解能が可能で高速回転中のハードディスクやスピンドルモータなどのランナウト測定に最適です。

ナノメトリックセンサーの特長

  • 超高分解能1nmp-pで精密な非接触測定ができます。
  • 応答周波数が20kHzと広く最高500kHz(オプション)まで可能です。
  • 高感度、高精度、高リニアリティで正確なアナログ電圧を出力します。
  • 低温から高温までの環境(-30 〜+100℃)で測定ができます。
  • 温度ドリフトが少なく安定した測定が可能です。
  • 磁界や磁性体など金属の材質に影響されません。
  • 用途に応じた細径プローブを製作することができます。